Time [us]	integrated counts
0.040	0.000
0.080	0.000
0.120	0.000
0.160	0.000
0.200	0.000
0.240	0.000
0.280	0.000
0.320	0.000
0.360	0.000
0.400	0.000
0.440	1.000
0.480	0.000
0.520	0.000
0.560	0.000
0.600	3.000
0.640	0.000
0.680	0.000
0.720	0.000
0.760	0.000
0.800	0.000
0.840	0.000
0.880	0.000
0.920	0.000
0.960	0.000
1.000	0.000
1.040	0.000
1.080	1.000
1.120	0.000
1.160	0.000
1.200	0.000
1.240	0.000
1.280	0.000
1.320	0.000
1.360	0.000
1.400	0.000
1.440	0.000
1.480	0.000
1.520	0.000
1.560	0.000
1.600	0.000
1.640	0.000
1.680	0.000
1.720	0.000
1.760	0.000
1.800	0.000
1.840	0.000
1.880	1.000
1.920	0.000
1.960	0.000
2.000	0.000
2.040	0.000
2.080	0.000
2.120	2.000
2.160	0.000
2.200	0.000
2.240	0.000
2.280	0.000
2.320	0.000
2.360	0.000
2.400	0.000
2.440	0.000
2.480	0.000
2.520	0.000
2.560	0.000
2.600	0.000
2.640	0.000
2.680	1.000
2.720	1.000
2.760	0.000
2.800	0.000
2.840	0.000
2.880	1.000
2.920	1.000
2.960	0.000
3.000	0.000
3.040	0.000
3.080	0.000
3.120	0.000
3.160	0.000
3.200	0.000
3.240	0.000
3.280	0.000
3.320	2.000
3.360	0.000
3.400	0.000
3.440	0.000
3.480	0.000
3.520	0.000
3.560	0.000
3.600	0.000
3.640	0.000
3.680	0.000
3.720	0.000
3.760	0.000
3.800	0.000
3.840	0.000
3.880	0.000
3.920	0.000
3.960	0.000
4.000	0.000
4.040	0.000
4.080	0.000
4.120	0.000
4.160	1.000
4.200	1.000
4.240	1.000
4.280	0.000
4.320	0.000
4.360	0.000
4.400	0.000
4.440	0.000
4.480	0.000
4.520	0.000
4.560	0.000
4.600	0.000
4.640	0.000
4.680	0.000
4.720	0.000
4.760	0.000
4.800	0.000
4.840	0.000
4.880	0.000
4.920	0.000
4.960	0.000
5.000	0.000
5.040	0.000
5.080	0.000
5.120	0.000
5.160	0.000
5.200	0.000
5.240	1.000
5.280	2.000
5.320	0.000
5.360	0.000
5.400	0.000
5.440	0.000
5.480	0.000
5.520	0.000
5.560	0.000
5.600	0.000
5.640	0.000
5.680	0.000
5.720	0.000
5.760	0.000
5.800	0.000
5.840	0.000
5.880	0.000
5.920	0.000
5.960	0.000
6.000	0.000
6.040	0.000
6.080	0.000
6.120	0.000
6.160	0.000
6.200	0.000
6.240	0.000
6.280	0.000
6.320	0.000
6.360	0.000
6.400	0.000
6.440	2.000
6.480	0.000
6.520	0.000
6.560	0.000
6.600	0.000
6.640	0.000
6.680	0.000
6.720	0.000
6.760	0.000
6.800	12.000
6.840	28.000
6.880	90.000
6.920	219.000
6.960	428.000
7.000	806.000
7.040	1106.000
7.080	1225.000
7.120	1269.000
7.160	1242.000
7.200	1090.000
7.240	1007.000
7.280	843.000
7.320	755.000
7.360	620.000
7.400	572.000
7.440	441.000
7.480	408.000
7.520	352.000
7.560	283.000
7.600	230.000
7.640	183.000
7.680	166.000
7.720	120.000
7.760	113.000
7.800	112.000
7.840	85.000
7.880	65.000
7.920	56.000
7.960	55.000
8.000	43.000
8.040	54.000
8.080	36.000
8.120	24.000
8.160	28.000
8.200	19.000
8.240	19.000
8.280	22.000
8.320	16.000
8.360	12.000
8.400	10.000
8.440	15.000
8.480	4.000
8.520	12.000
8.560	13.000
8.600	12.000
8.640	15.000
8.680	20.000
8.720	11.000
8.760	29.000
8.800	20.000
8.840	22.000
8.880	27.000
8.920	21.000
8.960	20.000
9.000	19.000
9.040	17.000
9.080	9.000
9.120	12.000
9.160	6.000
9.200	11.000
9.240	20.000
9.280	6.000
9.320	7.000
9.360	4.000
9.400	7.000
9.440	6.000
9.480	7.000
9.520	10.000
9.560	14.000
9.600	6.000
9.640	3.000
9.680	4.000
9.720	3.000
9.760	0.000
9.800	2.000
9.840	3.000
9.880	6.000
9.920	3.000
9.960	0.000
10.000	2.000
10.040	3.000
10.080	7.000
10.120	2.000
10.160	4.000
10.200	2.000
10.240	2.000
10.280	1.000
10.320	3.000
10.360	2.000
10.400	2.000
10.440	2.000
10.480	4.000
10.520	0.000
10.560	2.000
10.600	3.000
10.640	2.000
10.680	4.000
10.720	3.000
10.760	0.000
10.800	2.000
10.840	0.000
10.880	2.000
10.920	1.000
10.960	2.000
11.000	2.000
11.040	2.000
11.080	2.000
11.120	6.000
11.160	0.000
11.200	1.000
11.240	3.000
11.280	0.000
11.320	0.000
11.360	1.000
11.400	0.000
11.440	1.000
11.480	0.000
11.520	0.000
11.560	2.000
11.600	2.000
11.640	2.000
11.680	2.000
11.720	2.000
11.760	1.000
11.800	1.000
11.840	0.000
11.880	3.000
11.920	0.000
11.960	0.000
12.000	2.000
12.040	1.000
12.080	0.000
12.120	3.000
12.160	0.000
12.200	1.000
12.240	1.000
12.280	2.000
12.320	0.000
12.360	1.000
12.400	0.000
12.440	1.000
12.480	0.000
12.520	0.000
12.560	0.000
12.600	0.000
12.640	0.000
12.680	0.000
12.720	0.000
12.760	0.000
12.800	0.000
12.840	0.000
12.880	0.000
12.920	0.000
12.960	0.000
13.000	2.000
13.040	0.000
13.080	0.000
13.120	0.000
13.160	0.000
13.200	0.000
13.240	0.000
13.280	0.000
13.320	0.000
13.360	0.000
13.400	0.000
13.440	0.000
13.480	0.000
13.520	1.000
13.560	0.000
13.600	0.000
13.640	0.000
13.680	0.000
13.720	0.000
13.760	0.000
13.800	0.000
13.840	0.000
13.880	0.000
13.920	0.000
13.960	0.000
14.000	0.000
14.040	0.000
14.080	0.000
14.120	0.000
14.160	0.000
14.200	0.000
14.240	0.000
14.280	0.000
14.320	0.000
14.360	2.000
14.400	1.000
14.440	0.000
14.480	0.000
14.520	0.000
14.560	0.000
14.600	0.000
14.640	0.000
14.680	0.000
14.720	0.000
14.760	0.000
14.800	0.000
14.840	0.000
14.880	0.000
14.920	0.000
14.960	0.000
15.000	0.000
15.040	0.000
15.080	0.000
15.120	0.000
15.160	0.000
15.200	0.000
15.240	0.000
15.280	0.000
15.320	0.000
15.360	0.000
15.400	0.000
15.440	0.000
15.480	0.000
15.520	0.000
15.560	0.000
15.600	0.000
15.640	0.000
15.680	0.000
15.720	0.000
15.760	0.000
15.800	0.000
15.840	0.000
15.880	0.000
15.920	0.000
15.960	0.000
16.000	0.000
16.040	0.000
16.080	0.000
16.120	0.000
16.160	0.000
16.200	0.000
16.240	0.000
16.280	0.000
16.320	0.000
16.360	1.000
16.400	0.000
16.440	0.000
16.480	0.000
16.520	0.000
16.560	0.000
16.600	0.000
16.640	0.000
16.680	0.000
16.720	0.000
16.760	0.000
16.800	0.000
16.840	0.000
16.880	0.000
16.920	0.000
16.960	0.000
17.000	0.000
17.040	3.000
17.080	0.000
17.120	0.000
17.160	0.000
17.200	0.000
17.240	0.000
17.280	0.000
17.320	0.000
17.360	0.000
17.400	0.000
17.440	0.000
17.480	0.000
17.520	0.000
17.560	0.000
17.600	2.000
17.640	0.000
17.680	0.000
17.720	0.000
17.760	0.000
17.800	0.000
17.840	0.000
17.880	0.000
17.920	0.000
17.960	0.000
18.000	0.000
18.040	0.000
18.080	0.000
18.120	0.000
18.160	1.000
18.200	1.000
18.240	0.000
18.280	0.000
18.320	0.000
18.360	0.000
18.400	1.000
18.440	1.000
18.480	0.000
18.520	0.000
18.560	0.000
18.600	2.000
18.640	0.000
18.680	0.000
18.720	0.000
18.760	0.000
18.800	0.000
18.840	0.000
18.880	0.000
18.920	0.000
18.960	0.000
19.000	0.000
19.040	0.000
19.080	0.000
19.120	1.000
19.160	2.000
19.200	0.000
19.240	0.000
19.280	2.000
19.320	0.000
19.360	1.000
19.400	0.000
19.440	0.000
19.480	1.000
19.520	1.000
19.560	0.000
19.600	0.000
19.640	0.000
19.680	0.000
19.720	0.000
19.760	0.000
19.800	0.000
19.840	1.000
19.880	0.000
19.920	0.000
19.960	0.000
20.000	0.000
20.040	2.000
20.080	0.000
20.120	0.000
20.160	0.000
20.200	0.000
20.240	1.000
20.280	0.000
20.320	1.000
20.360	1.000
20.400	2.000
20.440	1.000
20.480	0.000
20.520	1.000
20.560	0.000
20.600	0.000
20.640	3.000
20.680	0.000
20.720	0.000
20.760	0.000
20.800	0.000
20.840	0.000
20.880	2.000
20.920	2.000
20.960	0.000
21.000	0.000
21.040	0.000
21.080	0.000
21.120	0.000
21.160	0.000
21.200	0.000
21.240	0.000
21.280	0.000
21.320	0.000
21.360	0.000
21.400	0.000
21.440	0.000
21.480	0.000
21.520	0.000
21.560	0.000
21.600	1.000
21.640	0.000
21.680	0.000
21.720	0.000
21.760	0.000
21.800	0.000
21.840	0.000
21.880	0.000
21.920	0.000
21.960	0.000
22.000	1.000
22.040	1.000
22.080	0.000
22.120	0.000
22.160	0.000
22.200	0.000
22.240	0.000
22.280	0.000
22.320	0.000
22.360	0.000
22.400	0.000
22.440	0.000
22.480	0.000
22.520	0.000
22.560	0.000
22.600	0.000
22.640	0.000
22.680	0.000
22.720	0.000
22.760	0.000
22.800	0.000
22.840	0.000
22.880	0.000
22.920	0.000
22.960	0.000
23.000	0.000
23.040	0.000
23.080	0.000
23.120	0.000
23.160	0.000
23.200	0.000
23.240	0.000
23.280	0.000
23.320	0.000
23.360	0.000
23.400	0.000
23.440	1.000
23.480	1.000
23.520	0.000
23.560	0.000
23.600	0.000
23.640	0.000
23.680	0.000
23.720	0.000
23.760	0.000
23.800	0.000
23.840	0.000
23.880	0.000
23.920	1.000
23.960	0.000
24.000	0.000
24.040	0.000
24.080	0.000
24.120	0.000
24.160	0.000
24.200	0.000
24.240	0.000
24.280	0.000
24.320	0.000
24.360	0.000
24.400	0.000
24.440	0.000
24.480	0.000
24.520	0.000
24.560	0.000
24.600	0.000
24.640	0.000
24.680	0.000
24.720	0.000
24.760	0.000
24.800	0.000
24.840	0.000
24.880	0.000
24.920	0.000
24.960	0.000
25.000	0.000
25.040	0.000
25.080	0.000
25.120	0.000
25.160	0.000
25.200	0.000
25.240	0.000
25.280	0.000
25.320	0.000
25.360	0.000
25.400	0.000
25.440	0.000
25.480	0.000
25.520	0.000
25.560	0.000
25.600	0.000
25.640	0.000
25.680	0.000
25.720	0.000
25.760	0.000
25.800	0.000
25.840	0.000
25.880	0.000
25.920	0.000
25.960	0.000
26.000	0.000
26.040	0.000
26.080	0.000
26.120	0.000
26.160	0.000
26.200	1.000
26.240	3.000
26.280	1.000
26.320	0.000
26.360	2.000
26.400	0.000
26.440	0.000
26.480	0.000
26.520	0.000
26.560	1.000
26.600	0.000
26.640	0.000
26.680	0.000
26.720	0.000
26.760	0.000
26.800	0.000
26.840	0.000
26.880	0.000
26.920	0.000
26.960	0.000
27.000	0.000
27.040	0.000
27.080	0.000
27.120	0.000
27.160	0.000
27.200	0.000
27.240	0.000
27.280	0.000
27.320	0.000
27.360	0.000
27.400	0.000
27.440	0.000
27.480	0.000
27.520	0.000
27.560	0.000
27.600	0.000
27.640	0.000
27.680	0.000
27.720	1.000
27.760	2.000
27.800	0.000
27.840	0.000
27.880	0.000
27.920	0.000
27.960	0.000
28.000	0.000
28.040	0.000
28.080	0.000
28.120	0.000
28.160	0.000
28.200	0.000
28.240	0.000
28.280	0.000
28.320	0.000
28.360	0.000
28.400	0.000
28.440	0.000
28.480	0.000
28.520	0.000
28.560	0.000
28.600	0.000
28.640	0.000
28.680	0.000
28.720	0.000
28.760	0.000
28.800	0.000
28.840	0.000
28.880	0.000
28.920	0.000
28.960	0.000
29.000	0.000
29.040	0.000
29.080	0.000
29.120	0.000
29.160	0.000
29.200	0.000
29.240	0.000
29.280	0.000
29.320	3.000
29.360	1.000
29.400	0.000
29.440	0.000
29.480	0.000
29.520	0.000
29.560	0.000
29.600	0.000
29.640	0.000
29.680	0.000
29.720	0.000
29.760	0.000
29.800	0.000
29.840	0.000
29.880	0.000
29.920	0.000
29.960	0.000
30.000	0.000
30.040	0.000
30.080	0.000
30.120	0.000
30.160	0.000
30.200	0.000
30.240	0.000
30.280	1.000
30.320	0.000
30.360	0.000
30.400	0.000
30.440	0.000
30.480	0.000
30.520	0.000
30.560	0.000
30.600	0.000
30.640	0.000
30.680	0.000
30.720	0.000
30.760	0.000
30.800	0.000
30.840	0.000
30.880	0.000
30.920	0.000
30.960	0.000
31.000	0.000
31.040	0.000
31.080	1.000
31.120	0.000
31.160	0.000
31.200	0.000
31.240	0.000
31.280	0.000
31.320	0.000
31.360	0.000
31.400	0.000
31.440	0.000
31.480	0.000
31.520	0.000
31.560	0.000
31.600	0.000
31.640	0.000
31.680	0.000
31.720	0.000
31.760	0.000
31.800	0.000
31.840	0.000
31.880	0.000
31.920	0.000
31.960	0.000
32.000	1.000
32.040	0.000
32.080	0.000
32.120	0.000
32.160	0.000
32.200	0.000
32.240	0.000
32.280	0.000
32.320	0.000
32.360	0.000
32.400	0.000
32.440	0.000
32.480	0.000
32.520	0.000
32.560	2.000
32.600	0.000
32.640	0.000
32.680	0.000
32.720	0.000
32.760	0.000
32.800	0.000
32.840	0.000
32.880	1.000
32.920	0.000
32.960	0.000
33.000	0.000
33.040	0.000
33.080	0.000
33.120	0.000
33.160	0.000
33.200	0.000
33.240	0.000
33.280	0.000
33.320	0.000
33.360	0.000
33.400	0.000
33.440	0.000
33.480	0.000
33.520	0.000
33.560	2.000
33.600	0.000
33.640	0.000
33.680	0.000
33.720	0.000
33.760	0.000
33.800	0.000
33.840	0.000
33.880	0.000
33.920	0.000
33.960	0.000
34.000	0.000
34.040	3.000
34.080	0.000
34.120	0.000
34.160	0.000
34.200	0.000
34.240	0.000
34.280	0.000
34.320	0.000
34.360	0.000
34.400	0.000
34.440	0.000
34.480	0.000
34.520	0.000
34.560	0.000
34.600	0.000
34.640	0.000
34.680	0.000
34.720	0.000
34.760	0.000
34.800	0.000
34.840	0.000
34.880	0.000
34.920	0.000
34.960	0.000
35.000	0.000
35.040	0.000
35.080	0.000
35.120	0.000
35.160	0.000
35.200	0.000
35.240	0.000
35.280	0.000
35.320	0.000
35.360	0.000
35.400	0.000
35.440	0.000
35.480	0.000
35.520	0.000
35.560	0.000
35.600	0.000
35.640	0.000
35.680	0.000
35.720	0.000
35.760	0.000
35.800	0.000
35.840	1.000
35.880	1.000
35.920	0.000
35.960	0.000
36.000	0.000
36.040	0.000
36.080	0.000
36.120	0.000
36.160	9.000
36.200	755.000
36.240	1189.000
36.280	317.000
36.320	32.000
36.360	16.000
36.400	1.000
36.440	0.000
36.480	26.000
36.520	19.000
36.560	0.000
36.600	0.000
36.640	0.000
36.680	0.000
36.720	0.000
36.760	2.000
36.800	0.000
36.840	1.000
36.880	1.000
36.920	2.000
36.960	2.000
37.000	4.000
37.040	1.000
37.080	1.000
37.120	0.000
37.160	2.000
37.200	6.000
37.240	3.000
37.280	2.000
37.320	3.000
37.360	6.000
37.400	1.000
37.440	0.000
37.480	1.000
37.520	0.000
37.560	3.000
37.600	1.000
37.640	2.000
37.680	0.000
37.720	2.000
37.760	0.000
37.800	0.000
37.840	0.000
37.880	0.000
37.920	0.000
37.960	1.000
38.000	0.000
38.040	0.000
38.080	0.000
38.120	0.000
38.160	0.000
38.200	0.000
38.240	4.000
38.280	1.000
38.320	4.000
38.360	8.000
38.400	0.000
38.440	3.000
38.480	2.000
38.520	0.000
38.560	0.000
38.600	2.000
38.640	1.000
38.680	4.000
38.720	2.000
38.760	2.000
38.800	0.000
38.840	1.000
38.880	0.000
38.920	0.000
38.960	0.000
39.000	0.000
39.040	0.000
39.080	0.000
39.120	0.000
39.160	0.000
39.200	0.000
39.240	0.000
39.280	1.000
39.320	0.000
39.360	0.000
39.400	0.000
39.440	0.000
39.480	0.000
39.520	0.000
39.560	0.000
39.600	0.000
39.640	0.000
39.680	0.000
39.720	0.000
39.760	0.000
39.800	0.000
39.840	0.000
39.880	0.000
39.920	0.000
39.960	0.000
40.000	0.000
40.040	0.000
40.080	0.000
40.120	2.000
40.160	0.000
40.200	0.000
40.240	0.000
40.280	0.000
40.320	0.000
40.360	0.000
40.400	0.000
40.440	0.000
40.480	0.000
40.520	0.000
40.560	0.000
40.600	0.000
40.640	0.000
40.680	0.000
40.720	0.000
40.760	0.000
40.800	0.000
40.840	0.000
40.880	0.000
40.920	0.000
40.960	0.000