Time [us]	integrated counts
0.040	0.000
0.080	0.000
0.120	2.000
0.160	0.000
0.200	0.000
0.240	0.000
0.280	0.000
0.320	0.000
0.360	0.000
0.400	0.000
0.440	0.000
0.480	0.000
0.520	0.000
0.560	0.000
0.600	0.000
0.640	0.000
0.680	0.000
0.720	0.000
0.760	0.000
0.800	2.000
0.840	0.000
0.880	0.000
0.920	0.000
0.960	0.000
1.000	0.000
1.040	0.000
1.080	0.000
1.120	0.000
1.160	0.000
1.200	0.000
1.240	0.000
1.280	0.000
1.320	0.000
1.360	0.000
1.400	0.000
1.440	2.000
1.480	0.000
1.520	0.000
1.560	0.000
1.600	0.000
1.640	0.000
1.680	2.000
1.720	0.000
1.760	0.000
1.800	0.000
1.840	0.000
1.880	0.000
1.920	0.000
1.960	0.000
2.000	0.000
2.040	0.000
2.080	0.000
2.120	0.000
2.160	0.000
2.200	0.000
2.240	0.000
2.280	0.000
2.320	0.000
2.360	0.000
2.400	0.000
2.440	0.000
2.480	0.000
2.520	0.000
2.560	0.000
2.600	0.000
2.640	0.000
2.680	0.000
2.720	0.000
2.760	0.000
2.800	0.000
2.840	0.000
2.880	0.000
2.920	0.000
2.960	0.000
3.000	0.000
3.040	0.000
3.080	0.000
3.120	0.000
3.160	0.000
3.200	0.000
3.240	0.000
3.280	0.000
3.320	0.000
3.360	0.000
3.400	0.000
3.440	0.000
3.480	0.000
3.520	0.000
3.560	0.000
3.600	0.000
3.640	0.000
3.680	0.000
3.720	0.000
3.760	0.000
3.800	0.000
3.840	0.000
3.880	0.000
3.920	0.000
3.960	0.000
4.000	0.000
4.040	0.000
4.080	0.000
4.120	0.000
4.160	0.000
4.200	0.000
4.240	0.000
4.280	0.000
4.320	0.000
4.360	0.000
4.400	0.000
4.440	0.000
4.480	0.000
4.520	0.000
4.560	0.000
4.600	0.000
4.640	0.000
4.680	0.000
4.720	0.000
4.760	2.000
4.800	1.000
4.840	0.000
4.880	1.000
4.920	0.000
4.960	0.000
5.000	0.000
5.040	0.000
5.080	0.000
5.120	0.000
5.160	0.000
5.200	0.000
5.240	0.000
5.280	0.000
5.320	0.000
5.360	0.000
5.400	0.000
5.440	0.000
5.480	0.000
5.520	0.000
5.560	0.000
5.600	0.000
5.640	0.000
5.680	0.000
5.720	0.000
5.760	0.000
5.800	0.000
5.840	0.000
5.880	0.000
5.920	0.000
5.960	0.000
6.000	0.000
6.040	0.000
6.080	0.000
6.120	0.000
6.160	0.000
6.200	0.000
6.240	0.000
6.280	0.000
6.320	0.000
6.360	0.000
6.400	0.000
6.440	0.000
6.480	0.000
6.520	0.000
6.560	0.000
6.600	0.000
6.640	0.000
6.680	0.000
6.720	0.000
6.760	1.000
6.800	5.000
6.840	30.000
6.880	82.000
6.920	196.000
6.960	451.000
7.000	753.000
7.040	1024.000
7.080	1162.000
7.120	1243.000
7.160	1195.000
7.200	1097.000
7.240	935.000
7.280	811.000
7.320	725.000
7.360	626.000
7.400	561.000
7.440	494.000
7.480	383.000
7.520	338.000
7.560	264.000
7.600	230.000
7.640	187.000
7.680	159.000
7.720	125.000
7.760	101.000
7.800	106.000
7.840	95.000
7.880	80.000
7.920	67.000
7.960	58.000
8.000	48.000
8.040	52.000
8.080	41.000
8.120	27.000
8.160	37.000
8.200	26.000
8.240	30.000
8.280	24.000
8.320	5.000
8.360	10.000
8.400	16.000
8.440	11.000
8.480	14.000
8.520	18.000
8.560	9.000
8.600	12.000
8.640	13.000
8.680	30.000
8.720	28.000
8.760	32.000
8.800	22.000
8.840	30.000
8.880	23.000
8.920	28.000
8.960	18.000
9.000	18.000
9.040	17.000
9.080	11.000
9.120	14.000
9.160	9.000
9.200	12.000
9.240	11.000
9.280	18.000
9.320	18.000
9.360	18.000
9.400	9.000
9.440	6.000
9.480	2.000
9.520	10.000
9.560	5.000
9.600	5.000
9.640	6.000
9.680	4.000
9.720	2.000
9.760	2.000
9.800	1.000
9.840	6.000
9.880	3.000
9.920	3.000
9.960	5.000
10.000	2.000
10.040	2.000
10.080	5.000
10.120	2.000
10.160	2.000
10.200	2.000
10.240	4.000
10.280	4.000
10.320	2.000
10.360	1.000
10.400	7.000
10.440	1.000
10.480	2.000
10.520	4.000
10.560	3.000
10.600	2.000
10.640	2.000
10.680	4.000
10.720	1.000
10.760	3.000
10.800	0.000
10.840	0.000
10.880	4.000
10.920	3.000
10.960	3.000
11.000	2.000
11.040	2.000
11.080	1.000
11.120	0.000
11.160	1.000
11.200	0.000
11.240	2.000
11.280	0.000
11.320	1.000
11.360	3.000
11.400	0.000
11.440	1.000
11.480	2.000
11.520	0.000
11.560	0.000
11.600	2.000
11.640	3.000
11.680	4.000
11.720	2.000
11.760	1.000
11.800	1.000
11.840	2.000
11.880	6.000
11.920	2.000
11.960	1.000
12.000	2.000
12.040	0.000
12.080	1.000
12.120	0.000
12.160	0.000
12.200	2.000
12.240	0.000
12.280	0.000
12.320	0.000
12.360	0.000
12.400	0.000
12.440	0.000
12.480	0.000
12.520	1.000
12.560	0.000
12.600	0.000
12.640	0.000
12.680	0.000
12.720	0.000
12.760	0.000
12.800	0.000
12.840	0.000
12.880	0.000
12.920	0.000
12.960	2.000
13.000	0.000
13.040	0.000
13.080	1.000
13.120	0.000
13.160	0.000
13.200	0.000
13.240	0.000
13.280	0.000
13.320	0.000
13.360	0.000
13.400	0.000
13.440	2.000
13.480	0.000
13.520	0.000
13.560	0.000
13.600	0.000
13.640	0.000
13.680	0.000
13.720	0.000
13.760	0.000
13.800	0.000
13.840	0.000
13.880	0.000
13.920	0.000
13.960	0.000
14.000	0.000
14.040	0.000
14.080	0.000
14.120	0.000
14.160	0.000
14.200	0.000
14.240	0.000
14.280	0.000
14.320	0.000
14.360	0.000
14.400	0.000
14.440	1.000
14.480	0.000
14.520	0.000
14.560	0.000
14.600	0.000
14.640	0.000
14.680	0.000
14.720	0.000
14.760	0.000
14.800	0.000
14.840	0.000
14.880	0.000
14.920	0.000
14.960	0.000
15.000	0.000
15.040	0.000
15.080	0.000
15.120	0.000
15.160	0.000
15.200	0.000
15.240	0.000
15.280	0.000
15.320	0.000
15.360	0.000
15.400	0.000
15.440	0.000
15.480	0.000
15.520	0.000
15.560	0.000
15.600	0.000
15.640	0.000
15.680	0.000
15.720	0.000
15.760	0.000
15.800	0.000
15.840	0.000
15.880	0.000
15.920	0.000
15.960	0.000
16.000	0.000
16.040	2.000
16.080	0.000
16.120	0.000
16.160	0.000
16.200	0.000
16.240	0.000
16.280	0.000
16.320	1.000
16.360	0.000
16.400	0.000
16.440	0.000
16.480	0.000
16.520	1.000
16.560	0.000
16.600	0.000
16.640	0.000
16.680	0.000
16.720	0.000
16.760	0.000
16.800	0.000
16.840	0.000
16.880	0.000
16.920	0.000
16.960	0.000
17.000	0.000
17.040	0.000
17.080	0.000
17.120	0.000
17.160	0.000
17.200	0.000
17.240	0.000
17.280	0.000
17.320	0.000
17.360	2.000
17.400	1.000
17.440	0.000
17.480	0.000
17.520	0.000
17.560	0.000
17.600	0.000
17.640	2.000
17.680	0.000
17.720	0.000
17.760	0.000
17.800	0.000
17.840	1.000
17.880	3.000
17.920	0.000
17.960	1.000
18.000	1.000
18.040	0.000
18.080	0.000
18.120	2.000
18.160	0.000
18.200	0.000
18.240	0.000
18.280	0.000
18.320	0.000
18.360	0.000
18.400	1.000
18.440	2.000
18.480	0.000
18.520	0.000
18.560	0.000
18.600	0.000
18.640	0.000
18.680	0.000
18.720	1.000
18.760	0.000
18.800	0.000
18.840	0.000
18.880	2.000
18.920	1.000
18.960	0.000
19.000	0.000
19.040	0.000
19.080	0.000
19.120	0.000
19.160	0.000
19.200	0.000
19.240	0.000
19.280	0.000
19.320	0.000
19.360	0.000
19.400	0.000
19.440	0.000
19.480	0.000
19.520	0.000
19.560	0.000
19.600	0.000
19.640	0.000
19.680	0.000
19.720	0.000
19.760	0.000
19.800	0.000
19.840	0.000
19.880	1.000
19.920	1.000
19.960	0.000
20.000	0.000
20.040	0.000
20.080	1.000
20.120	0.000
20.160	0.000
20.200	0.000
20.240	2.000
20.280	1.000
20.320	1.000
20.360	1.000
20.400	3.000
20.440	2.000
20.480	0.000
20.520	1.000
20.560	2.000
20.600	0.000
20.640	0.000
20.680	0.000
20.720	0.000
20.760	0.000
20.800	0.000
20.840	0.000
20.880	0.000
20.920	0.000
20.960	0.000
21.000	0.000
21.040	0.000
21.080	0.000
21.120	0.000
21.160	1.000
21.200	0.000
21.240	0.000
21.280	0.000
21.320	0.000
21.360	0.000
21.400	0.000
21.440	0.000
21.480	1.000
21.520	2.000
21.560	0.000
21.600	0.000
21.640	0.000
21.680	0.000
21.720	0.000
21.760	0.000
21.800	0.000
21.840	0.000
21.880	0.000
21.920	0.000
21.960	0.000
22.000	0.000
22.040	0.000
22.080	2.000
22.120	1.000
22.160	0.000
22.200	0.000
22.240	0.000
22.280	0.000
22.320	0.000
22.360	0.000
22.400	0.000
22.440	0.000
22.480	0.000
22.520	0.000
22.560	0.000
22.600	0.000
22.640	0.000
22.680	0.000
22.720	0.000
22.760	0.000
22.800	0.000
22.840	0.000
22.880	0.000
22.920	0.000
22.960	0.000
23.000	0.000
23.040	0.000
23.080	0.000
23.120	0.000
23.160	0.000
23.200	0.000
23.240	2.000
23.280	0.000
23.320	0.000
23.360	0.000
23.400	0.000
23.440	0.000
23.480	0.000
23.520	0.000
23.560	0.000
23.600	0.000
23.640	0.000
23.680	0.000
23.720	0.000
23.760	0.000
23.800	0.000
23.840	0.000
23.880	1.000
23.920	0.000
23.960	0.000
24.000	0.000
24.040	0.000
24.080	0.000
24.120	1.000
24.160	1.000
24.200	0.000
24.240	0.000
24.280	0.000
24.320	0.000
24.360	0.000
24.400	0.000
24.440	0.000
24.480	0.000
24.520	0.000
24.560	0.000
24.600	0.000
24.640	0.000
24.680	0.000
24.720	0.000
24.760	0.000
24.800	0.000
24.840	0.000
24.880	0.000
24.920	0.000
24.960	0.000
25.000	1.000
25.040	0.000
25.080	0.000
25.120	0.000
25.160	0.000
25.200	0.000
25.240	0.000
25.280	0.000
25.320	0.000
25.360	0.000
25.400	0.000
25.440	0.000
25.480	0.000
25.520	0.000
25.560	0.000
25.600	0.000
25.640	0.000
25.680	0.000
25.720	0.000
25.760	0.000
25.800	0.000
25.840	0.000
25.880	1.000
25.920	0.000
25.960	0.000
26.000	0.000
26.040	0.000
26.080	0.000
26.120	0.000
26.160	0.000
26.200	0.000
26.240	0.000
26.280	0.000
26.320	0.000
26.360	0.000
26.400	0.000
26.440	0.000
26.480	0.000
26.520	0.000
26.560	0.000
26.600	0.000
26.640	0.000
26.680	0.000
26.720	0.000
26.760	0.000
26.800	0.000
26.840	0.000
26.880	0.000
26.920	0.000
26.960	0.000
27.000	3.000
27.040	0.000
27.080	0.000
27.120	1.000
27.160	1.000
27.200	0.000
27.240	0.000
27.280	1.000
27.320	1.000
27.360	0.000
27.400	0.000
27.440	0.000
27.480	0.000
27.520	0.000
27.560	0.000
27.600	0.000
27.640	0.000
27.680	0.000
27.720	0.000
27.760	0.000
27.800	0.000
27.840	0.000
27.880	0.000
27.920	0.000
27.960	0.000
28.000	0.000
28.040	0.000
28.080	0.000
28.120	0.000
28.160	0.000
28.200	0.000
28.240	0.000
28.280	0.000
28.320	0.000
28.360	1.000
28.400	1.000
28.440	0.000
28.480	0.000
28.520	0.000
28.560	0.000
28.600	0.000
28.640	0.000
28.680	0.000
28.720	0.000
28.760	0.000
28.800	0.000
28.840	0.000
28.880	0.000
28.920	0.000
28.960	0.000
29.000	0.000
29.040	0.000
29.080	0.000
29.120	0.000
29.160	0.000
29.200	0.000
29.240	0.000
29.280	0.000
29.320	0.000
29.360	0.000
29.400	0.000
29.440	0.000
29.480	0.000
29.520	0.000
29.560	0.000
29.600	0.000
29.640	0.000
29.680	0.000
29.720	0.000
29.760	0.000
29.800	0.000
29.840	0.000
29.880	0.000
29.920	0.000
29.960	0.000
30.000	0.000
30.040	0.000
30.080	0.000
30.120	0.000
30.160	0.000
30.200	0.000
30.240	0.000
30.280	0.000
30.320	0.000
30.360	1.000
30.400	1.000
30.440	0.000
30.480	0.000
30.520	0.000
30.560	0.000
30.600	0.000
30.640	0.000
30.680	0.000
30.720	0.000
30.760	2.000
30.800	0.000
30.840	0.000
30.880	0.000
30.920	0.000
30.960	0.000
31.000	0.000
31.040	0.000
31.080	2.000
31.120	0.000
31.160	0.000
31.200	0.000
31.240	0.000
31.280	0.000
31.320	0.000
31.360	0.000
31.400	0.000
31.440	1.000
31.480	1.000
31.520	0.000
31.560	0.000
31.600	0.000
31.640	0.000
31.680	0.000
31.720	0.000
31.760	0.000
31.800	0.000
31.840	0.000
31.880	0.000
31.920	1.000
31.960	0.000
32.000	0.000
32.040	0.000
32.080	0.000
32.120	1.000
32.160	1.000
32.200	0.000
32.240	0.000
32.280	0.000
32.320	0.000
32.360	0.000
32.400	0.000
32.440	0.000
32.480	0.000
32.520	0.000
32.560	0.000
32.600	0.000
32.640	0.000
32.680	0.000
32.720	0.000
32.760	0.000
32.800	0.000
32.840	0.000
32.880	0.000
32.920	0.000
32.960	0.000
33.000	0.000
33.040	0.000
33.080	0.000
33.120	0.000
33.160	0.000
33.200	0.000
33.240	0.000
33.280	0.000
33.320	0.000
33.360	0.000
33.400	0.000
33.440	0.000
33.480	0.000
33.520	0.000
33.560	1.000
33.600	0.000
33.640	0.000
33.680	0.000
33.720	0.000
33.760	0.000
33.800	0.000
33.840	0.000
33.880	0.000
33.920	0.000
33.960	0.000
34.000	0.000
34.040	0.000
34.080	0.000
34.120	0.000
34.160	0.000
34.200	2.000
34.240	0.000
34.280	0.000
34.320	0.000
34.360	0.000
34.400	0.000
34.440	0.000
34.480	0.000
34.520	3.000
34.560	0.000
34.600	0.000
34.640	0.000
34.680	0.000
34.720	0.000
34.760	1.000
34.800	0.000
34.840	0.000
34.880	0.000
34.920	0.000
34.960	0.000
35.000	0.000
35.040	0.000
35.080	0.000
35.120	0.000
35.160	0.000
35.200	0.000
35.240	0.000
35.280	0.000
35.320	0.000
35.360	0.000
35.400	0.000
35.440	0.000
35.480	0.000
35.520	0.000
35.560	0.000
35.600	1.000
35.640	0.000
35.680	0.000
35.720	0.000
35.760	0.000
35.800	0.000
35.840	0.000
35.880	0.000
35.920	0.000
35.960	0.000
36.000	0.000
36.040	0.000
36.080	0.000
36.120	0.000
36.160	7.000
36.200	693.000
36.240	1137.000
36.280	299.000
36.320	3.000
36.360	3.000
36.400	2.000
36.440	0.000
36.480	89.000
36.520	38.000
36.560	1.000
36.600	0.000
36.640	0.000
36.680	0.000
36.720	0.000
36.760	0.000
36.800	1.000
36.840	1.000
36.880	1.000
36.920	4.000
36.960	0.000
37.000	5.000
37.040	7.000
37.080	4.000
37.120	10.000
37.160	5.000
37.200	5.000
37.240	4.000
37.280	4.000
37.320	4.000
37.360	1.000
37.400	2.000
37.440	2.000
37.480	1.000
37.520	1.000
37.560	2.000
37.600	5.000
37.640	2.000
37.680	1.000
37.720	0.000
37.760	0.000
37.800	0.000
37.840	2.000
37.880	0.000
37.920	0.000
37.960	1.000
38.000	3.000
38.040	1.000
38.080	2.000
38.120	2.000
38.160	2.000
38.200	6.000
38.240	1.000
38.280	2.000
38.320	1.000
38.360	3.000
38.400	1.000
38.440	3.000
38.480	2.000
38.520	0.000
38.560	0.000
38.600	1.000
38.640	0.000
38.680	0.000
38.720	0.000
38.760	0.000
38.800	0.000
38.840	1.000
38.880	1.000
38.920	0.000
38.960	0.000
39.000	1.000
39.040	0.000
39.080	0.000
39.120	0.000
39.160	0.000
39.200	0.000
39.240	0.000
39.280	0.000
39.320	0.000
39.360	1.000
39.400	0.000
39.440	1.000
39.480	1.000
39.520	0.000
39.560	0.000
39.600	0.000
39.640	0.000
39.680	0.000
39.720	0.000
39.760	2.000
39.800	1.000
39.840	0.000
39.880	0.000
39.920	0.000
39.960	0.000
40.000	0.000
40.040	0.000
40.080	0.000
40.120	0.000
40.160	0.000
40.200	0.000
40.240	0.000
40.280	1.000
40.320	1.000
40.360	0.000
40.400	0.000
40.440	0.000
40.480	0.000
40.520	0.000
40.560	0.000
40.600	0.000
40.640	0.000
40.680	0.000
40.720	0.000
40.760	0.000
40.800	0.000
40.840	0.000
40.880	1.000
40.920	0.000
40.960	0.000