Time [us]	integrated counts
0.040	0.000
0.080	0.000
0.120	0.000
0.160	0.000
0.200	0.000
0.240	0.000
0.280	0.000
0.320	0.000
0.360	0.000
0.400	0.000
0.440	0.000
0.480	0.000
0.520	0.000
0.560	0.000
0.600	0.000
0.640	0.000
0.680	0.000
0.720	0.000
0.760	0.000
0.800	0.000
0.840	0.000
0.880	0.000
0.920	0.000
0.960	0.000
1.000	2.000
1.040	2.000
1.080	1.000
1.120	0.000
1.160	0.000
1.200	0.000
1.240	0.000
1.280	0.000
1.320	0.000
1.360	2.000
1.400	0.000
1.440	0.000
1.480	0.000
1.520	0.000
1.560	0.000
1.600	0.000
1.640	0.000
1.680	0.000
1.720	0.000
1.760	0.000
1.800	0.000
1.840	0.000
1.880	0.000
1.920	0.000
1.960	0.000
2.000	0.000
2.040	0.000
2.080	0.000
2.120	0.000
2.160	0.000
2.200	0.000
2.240	0.000
2.280	0.000
2.320	0.000
2.360	0.000
2.400	0.000
2.440	0.000
2.480	0.000
2.520	0.000
2.560	0.000
2.600	0.000
2.640	0.000
2.680	0.000
2.720	0.000
2.760	0.000
2.800	0.000
2.840	1.000
2.880	0.000
2.920	0.000
2.960	0.000
3.000	0.000
3.040	0.000
3.080	0.000
3.120	0.000
3.160	0.000
3.200	0.000
3.240	0.000
3.280	0.000
3.320	0.000
3.360	0.000
3.400	1.000
3.440	1.000
3.480	0.000
3.520	0.000
3.560	0.000
3.600	0.000
3.640	0.000
3.680	0.000
3.720	0.000
3.760	0.000
3.800	0.000
3.840	0.000
3.880	0.000
3.920	0.000
3.960	0.000
4.000	0.000
4.040	0.000
4.080	0.000
4.120	0.000
4.160	2.000
4.200	1.000
4.240	1.000
4.280	3.000
4.320	0.000
4.360	0.000
4.400	0.000
4.440	0.000
4.480	0.000
4.520	0.000
4.560	0.000
4.600	0.000
4.640	0.000
4.680	0.000
4.720	0.000
4.760	0.000
4.800	0.000
4.840	0.000
4.880	0.000
4.920	0.000
4.960	0.000
5.000	0.000
5.040	0.000
5.080	0.000
5.120	0.000
5.160	0.000
5.200	0.000
5.240	0.000
5.280	0.000
5.320	0.000
5.360	0.000
5.400	0.000
5.440	1.000
5.480	1.000
5.520	0.000
5.560	0.000
5.600	0.000
5.640	0.000
5.680	0.000
5.720	0.000
5.760	0.000
5.800	0.000
5.840	0.000
5.880	0.000
5.920	0.000
5.960	0.000
6.000	0.000
6.040	0.000
6.080	0.000
6.120	0.000
6.160	0.000
6.200	0.000
6.240	0.000
6.280	0.000
6.320	0.000
6.360	0.000
6.400	0.000
6.440	0.000
6.480	0.000
6.520	0.000
6.560	0.000
6.600	0.000
6.640	0.000
6.680	0.000
6.720	1.000
6.760	3.000
6.800	11.000
6.840	45.000
6.880	120.000
6.920	328.000
6.960	667.000
7.000	1039.000
7.040	1260.000
7.080	1300.000
7.120	1327.000
7.160	1262.000
7.200	1170.000
7.240	1039.000
7.280	843.000
7.320	783.000
7.360	640.000
7.400	558.000
7.440	477.000
7.480	426.000
7.520	338.000
7.560	307.000
7.600	257.000
7.640	196.000
7.680	170.000
7.720	135.000
7.760	112.000
7.800	84.000
7.840	70.000
7.880	61.000
7.920	66.000
7.960	60.000
8.000	45.000
8.040	42.000
8.080	38.000
8.120	29.000
8.160	29.000
8.200	31.000
8.240	20.000
8.280	17.000
8.320	18.000
8.360	16.000
8.400	13.000
8.440	18.000
8.480	13.000
8.520	5.000
8.560	8.000
8.600	15.000
8.640	13.000
8.680	9.000
8.720	17.000
8.760	20.000
8.800	32.000
8.840	27.000
8.880	26.000
8.920	18.000
8.960	22.000
9.000	10.000
9.040	11.000
9.080	11.000
9.120	12.000
9.160	14.000
9.200	9.000
9.240	4.000
9.280	10.000
9.320	11.000
9.360	12.000
9.400	8.000
9.440	10.000
9.480	9.000
9.520	10.000
9.560	3.000
9.600	4.000
9.640	2.000
9.680	4.000
9.720	2.000
9.760	3.000
9.800	2.000
9.840	2.000
9.880	3.000
9.920	3.000
9.960	2.000
10.000	3.000
10.040	4.000
10.080	1.000
10.120	2.000
10.160	0.000
10.200	1.000
10.240	1.000
10.280	1.000
10.320	2.000
10.360	3.000
10.400	2.000
10.440	0.000
10.480	2.000
10.520	1.000
10.560	3.000
10.600	5.000
10.640	2.000
10.680	1.000
10.720	2.000
10.760	3.000
10.800	1.000
10.840	3.000
10.880	3.000
10.920	0.000
10.960	1.000
11.000	0.000
11.040	0.000
11.080	0.000
11.120	0.000
11.160	2.000
11.200	1.000
11.240	1.000
11.280	2.000
11.320	0.000
11.360	2.000
11.400	0.000
11.440	1.000
11.480	2.000
11.520	0.000
11.560	1.000
11.600	2.000
11.640	2.000
11.680	1.000
11.720	1.000
11.760	1.000
11.800	4.000
11.840	0.000
11.880	0.000
11.920	1.000
11.960	2.000
12.000	0.000
12.040	0.000
12.080	1.000
12.120	2.000
12.160	0.000
12.200	4.000
12.240	2.000
12.280	1.000
12.320	0.000
12.360	1.000
12.400	1.000
12.440	0.000
12.480	0.000
12.520	0.000
12.560	0.000
12.600	2.000
12.640	0.000
12.680	0.000
12.720	0.000
12.760	0.000
12.800	0.000
12.840	0.000
12.880	0.000
12.920	0.000
12.960	0.000
13.000	0.000
13.040	0.000
13.080	0.000
13.120	0.000
13.160	0.000
13.200	0.000
13.240	0.000
13.280	0.000
13.320	0.000
13.360	0.000
13.400	0.000
13.440	0.000
13.480	0.000
13.520	0.000
13.560	0.000
13.600	0.000
13.640	0.000
13.680	0.000
13.720	0.000
13.760	0.000
13.800	0.000
13.840	0.000
13.880	0.000
13.920	0.000
13.960	0.000
14.000	0.000
14.040	0.000
14.080	0.000
14.120	0.000
14.160	0.000
14.200	0.000
14.240	0.000
14.280	2.000
14.320	0.000
14.360	0.000
14.400	0.000
14.440	0.000
14.480	0.000
14.520	0.000
14.560	0.000
14.600	0.000
14.640	0.000
14.680	0.000
14.720	0.000
14.760	0.000
14.800	0.000
14.840	0.000
14.880	0.000
14.920	0.000
14.960	0.000
15.000	0.000
15.040	0.000
15.080	0.000
15.120	0.000
15.160	0.000
15.200	0.000
15.240	0.000
15.280	0.000
15.320	0.000
15.360	0.000
15.400	0.000
15.440	0.000
15.480	0.000
15.520	0.000
15.560	0.000
15.600	1.000
15.640	1.000
15.680	0.000
15.720	0.000
15.760	0.000
15.800	0.000
15.840	0.000
15.880	0.000
15.920	0.000
15.960	0.000
16.000	0.000
16.040	0.000
16.080	0.000
16.120	0.000
16.160	0.000
16.200	0.000
16.240	0.000
16.280	0.000
16.320	0.000
16.360	0.000
16.400	0.000
16.440	1.000
16.480	1.000
16.520	1.000
16.560	1.000
16.600	0.000
16.640	0.000
16.680	0.000
16.720	0.000
16.760	0.000
16.800	0.000
16.840	0.000
16.880	0.000
16.920	0.000
16.960	0.000
17.000	0.000
17.040	0.000
17.080	0.000
17.120	1.000
17.160	2.000
17.200	0.000
17.240	0.000
17.280	0.000
17.320	0.000
17.360	0.000
17.400	0.000
17.440	0.000
17.480	0.000
17.520	0.000
17.560	0.000
17.600	0.000
17.640	0.000
17.680	0.000
17.720	0.000
17.760	0.000
17.800	0.000
17.840	0.000
17.880	0.000
17.920	0.000
17.960	0.000
18.000	2.000
18.040	0.000
18.080	2.000
18.120	0.000
18.160	0.000
18.200	0.000
18.240	0.000
18.280	1.000
18.320	0.000
18.360	0.000
18.400	0.000
18.440	0.000
18.480	0.000
18.520	0.000
18.560	1.000
18.600	0.000
18.640	0.000
18.680	0.000
18.720	0.000
18.760	1.000
18.800	0.000
18.840	0.000
18.880	0.000
18.920	1.000
18.960	2.000
19.000	0.000
19.040	0.000
19.080	1.000
19.120	1.000
19.160	0.000
19.200	0.000
19.240	0.000
19.280	0.000
19.320	0.000
19.360	0.000
19.400	1.000
19.440	0.000
19.480	1.000
19.520	1.000
19.560	0.000
19.600	0.000
19.640	1.000
19.680	0.000
19.720	1.000
19.760	0.000
19.800	0.000
19.840	0.000
19.880	0.000
19.920	2.000
19.960	0.000
20.000	0.000
20.040	0.000
20.080	0.000
20.120	0.000
20.160	1.000
20.200	1.000
20.240	0.000
20.280	1.000
20.320	0.000
20.360	1.000
20.400	2.000
20.440	2.000
20.480	1.000
20.520	4.000
20.560	1.000
20.600	0.000
20.640	0.000
20.680	0.000
20.720	0.000
20.760	0.000
20.800	2.000
20.840	2.000
20.880	0.000
20.920	1.000
20.960	0.000
21.000	0.000
21.040	0.000
21.080	0.000
21.120	0.000
21.160	0.000
21.200	0.000
21.240	2.000
21.280	0.000
21.320	0.000
21.360	0.000
21.400	1.000
21.440	0.000
21.480	0.000
21.520	0.000
21.560	0.000
21.600	0.000
21.640	0.000
21.680	0.000
21.720	0.000
21.760	3.000
21.800	0.000
21.840	0.000
21.880	0.000
21.920	0.000
21.960	0.000
22.000	0.000
22.040	0.000
22.080	0.000
22.120	0.000
22.160	0.000
22.200	0.000
22.240	0.000
22.280	0.000
22.320	0.000
22.360	0.000
22.400	1.000
22.440	1.000
22.480	0.000
22.520	0.000
22.560	0.000
22.600	0.000
22.640	0.000
22.680	0.000
22.720	0.000
22.760	0.000
22.800	0.000
22.840	0.000
22.880	0.000
22.920	0.000
22.960	0.000
23.000	0.000
23.040	0.000
23.080	0.000
23.120	0.000
23.160	0.000
23.200	0.000
23.240	0.000
23.280	0.000
23.320	0.000
23.360	0.000
23.400	0.000
23.440	0.000
23.480	0.000
23.520	0.000
23.560	0.000
23.600	0.000
23.640	0.000
23.680	0.000
23.720	0.000
23.760	0.000
23.800	0.000
23.840	0.000
23.880	0.000
23.920	0.000
23.960	0.000
24.000	0.000
24.040	0.000
24.080	0.000
24.120	0.000
24.160	0.000
24.200	0.000
24.240	0.000
24.280	0.000
24.320	0.000
24.360	0.000
24.400	0.000
24.440	0.000
24.480	0.000
24.520	0.000
24.560	0.000
24.600	0.000
24.640	0.000
24.680	0.000
24.720	0.000
24.760	0.000
24.800	0.000
24.840	0.000
24.880	0.000
24.920	0.000
24.960	0.000
25.000	0.000
25.040	0.000
25.080	0.000
25.120	0.000
25.160	0.000
25.200	0.000
25.240	0.000
25.280	0.000
25.320	0.000
25.360	0.000
25.400	1.000
25.440	0.000
25.480	0.000
25.520	0.000
25.560	0.000
25.600	0.000
25.640	0.000
25.680	0.000
25.720	0.000
25.760	0.000
25.800	0.000
25.840	0.000
25.880	0.000
25.920	0.000
25.960	0.000
26.000	0.000
26.040	0.000
26.080	0.000
26.120	0.000
26.160	0.000
26.200	0.000
26.240	0.000
26.280	0.000
26.320	0.000
26.360	0.000
26.400	0.000
26.440	0.000
26.480	0.000
26.520	0.000
26.560	0.000
26.600	0.000
26.640	0.000
26.680	0.000
26.720	0.000
26.760	0.000
26.800	0.000
26.840	0.000
26.880	0.000
26.920	0.000
26.960	0.000
27.000	0.000
27.040	0.000
27.080	0.000
27.120	0.000
27.160	0.000
27.200	0.000
27.240	0.000
27.280	0.000
27.320	0.000
27.360	0.000
27.400	0.000
27.440	0.000
27.480	0.000
27.520	0.000
27.560	0.000
27.600	0.000
27.640	0.000
27.680	0.000
27.720	1.000
27.760	1.000
27.800	2.000
27.840	0.000
27.880	0.000
27.920	0.000
27.960	0.000
28.000	1.000
28.040	0.000
28.080	0.000
28.120	0.000
28.160	0.000
28.200	0.000
28.240	1.000
28.280	0.000
28.320	0.000
28.360	0.000
28.400	0.000
28.440	0.000
28.480	0.000
28.520	1.000
28.560	1.000
28.600	0.000
28.640	0.000
28.680	0.000
28.720	0.000
28.760	0.000
28.800	0.000
28.840	0.000
28.880	0.000
28.920	0.000
28.960	0.000
29.000	0.000
29.040	0.000
29.080	0.000
29.120	0.000
29.160	0.000
29.200	0.000
29.240	0.000
29.280	0.000
29.320	0.000
29.360	0.000
29.400	0.000
29.440	0.000
29.480	0.000
29.520	0.000
29.560	0.000
29.600	0.000
29.640	0.000
29.680	0.000
29.720	0.000
29.760	0.000
29.800	0.000
29.840	0.000
29.880	0.000
29.920	0.000
29.960	0.000
30.000	0.000
30.040	0.000
30.080	0.000
30.120	0.000
30.160	0.000
30.200	0.000
30.240	0.000
30.280	0.000
30.320	0.000
30.360	0.000
30.400	0.000
30.440	0.000
30.480	0.000
30.520	0.000
30.560	0.000
30.600	0.000
30.640	0.000
30.680	0.000
30.720	0.000
30.760	0.000
30.800	0.000
30.840	0.000
30.880	0.000
30.920	0.000
30.960	0.000
31.000	0.000
31.040	0.000
31.080	0.000
31.120	0.000
31.160	0.000
31.200	0.000
31.240	0.000
31.280	0.000
31.320	0.000
31.360	0.000
31.400	0.000
31.440	0.000
31.480	0.000
31.520	0.000
31.560	0.000
31.600	0.000
31.640	0.000
31.680	0.000
31.720	0.000
31.760	0.000
31.800	0.000
31.840	0.000
31.880	0.000
31.920	0.000
31.960	0.000
32.000	0.000
32.040	0.000
32.080	1.000
32.120	0.000
32.160	0.000
32.200	0.000
32.240	0.000
32.280	0.000
32.320	0.000
32.360	0.000
32.400	0.000
32.440	0.000
32.480	0.000
32.520	0.000
32.560	0.000
32.600	0.000
32.640	0.000
32.680	0.000
32.720	0.000
32.760	0.000
32.800	0.000
32.840	0.000
32.880	2.000
32.920	0.000
32.960	0.000
33.000	0.000
33.040	0.000
33.080	0.000
33.120	0.000
33.160	0.000
33.200	0.000
33.240	0.000
33.280	0.000
33.320	0.000
33.360	0.000
33.400	0.000
33.440	0.000
33.480	0.000
33.520	0.000
33.560	0.000
33.600	0.000
33.640	0.000
33.680	0.000
33.720	0.000
33.760	0.000
33.800	0.000
33.840	0.000
33.880	0.000
33.920	0.000
33.960	0.000
34.000	0.000
34.040	0.000
34.080	0.000
34.120	0.000
34.160	0.000
34.200	0.000
34.240	0.000
34.280	0.000
34.320	0.000
34.360	0.000
34.400	1.000
34.440	1.000
34.480	0.000
34.520	0.000
34.560	0.000
34.600	0.000
34.640	0.000
34.680	0.000
34.720	0.000
34.760	1.000
34.800	0.000
34.840	0.000
34.880	0.000
34.920	0.000
34.960	0.000
35.000	0.000
35.040	0.000
35.080	0.000
35.120	0.000
35.160	3.000
35.200	2.000
35.240	0.000
35.280	0.000
35.320	0.000
35.360	0.000
35.400	0.000
35.440	0.000
35.480	0.000
35.520	0.000
35.560	0.000
35.600	1.000
35.640	0.000
35.680	0.000
35.720	0.000
35.760	0.000
35.800	0.000
35.840	0.000
35.880	0.000
35.920	0.000
35.960	0.000
36.000	0.000
36.040	0.000
36.080	0.000
36.120	0.000
36.160	2.000
36.200	553.000
36.240	1067.000
36.280	286.000
36.320	6.000
36.360	10.000
36.400	0.000
36.440	0.000
36.480	24.000
36.520	17.000
36.560	0.000
36.600	0.000
36.640	1.000
36.680	0.000
36.720	1.000
36.760	2.000
36.800	0.000
36.840	1.000
36.880	1.000
36.920	4.000
36.960	0.000
37.000	4.000
37.040	4.000
37.080	0.000
37.120	4.000
37.160	8.000
37.200	4.000
37.240	3.000
37.280	6.000
37.320	1.000
37.360	2.000
37.400	1.000
37.440	0.000
37.480	0.000
37.520	2.000
37.560	1.000
37.600	0.000
37.640	0.000
37.680	2.000
37.720	0.000
37.760	0.000
37.800	0.000
37.840	0.000
37.880	0.000
37.920	3.000
37.960	0.000
38.000	1.000
38.040	0.000
38.080	3.000
38.120	2.000
38.160	5.000
38.200	0.000
38.240	1.000
38.280	3.000
38.320	3.000
38.360	2.000
38.400	5.000
38.440	1.000
38.480	2.000
38.520	2.000
38.560	0.000
38.600	3.000
38.640	0.000
38.680	0.000
38.720	0.000
38.760	2.000
38.800	0.000
38.840	0.000
38.880	0.000
38.920	0.000
38.960	0.000
39.000	0.000
39.040	0.000
39.080	0.000
39.120	0.000
39.160	0.000
39.200	0.000
39.240	2.000
39.280	0.000
39.320	0.000
39.360	2.000
39.400	1.000
39.440	1.000
39.480	2.000
39.520	0.000
39.560	0.000
39.600	0.000
39.640	0.000
39.680	0.000
39.720	0.000
39.760	0.000
39.800	0.000
39.840	0.000
39.880	0.000
39.920	0.000
39.960	0.000
40.000	0.000
40.040	0.000
40.080	0.000
40.120	0.000
40.160	0.000
40.200	0.000
40.240	0.000
40.280	0.000
40.320	0.000
40.360	0.000
40.400	0.000
40.440	0.000
40.480	0.000
40.520	0.000
40.560	0.000
40.600	0.000
40.640	0.000
40.680	0.000
40.720	0.000
40.760	0.000
40.800	0.000
40.840	0.000
40.880	0.000
40.920	2.000
40.960	0.000