Time [us]	integrated counts
0.040	0.000
0.080	0.000
0.120	0.000
0.160	0.000
0.200	0.000
0.240	1.000
0.280	0.000
0.320	0.000
0.360	0.000
0.400	0.000
0.440	0.000
0.480	0.000
0.520	0.000
0.560	0.000
0.600	0.000
0.640	0.000
0.680	0.000
0.720	1.000
0.760	0.000
0.800	0.000
0.840	0.000
0.880	1.000
0.920	1.000
0.960	0.000
1.000	0.000
1.040	0.000
1.080	0.000
1.120	0.000
1.160	0.000
1.200	1.000
1.240	0.000
1.280	0.000
1.320	0.000
1.360	0.000
1.400	0.000
1.440	0.000
1.480	0.000
1.520	0.000
1.560	0.000
1.600	0.000
1.640	0.000
1.680	0.000
1.720	0.000
1.760	0.000
1.800	0.000
1.840	1.000
1.880	1.000
1.920	0.000
1.960	0.000
2.000	0.000
2.040	0.000
2.080	0.000
2.120	0.000
2.160	0.000
2.200	0.000
2.240	1.000
2.280	0.000
2.320	0.000
2.360	0.000
2.400	0.000
2.440	1.000
2.480	0.000
2.520	0.000
2.560	0.000
2.600	0.000
2.640	0.000
2.680	0.000
2.720	0.000
2.760	1.000
2.800	0.000
2.840	0.000
2.880	0.000
2.920	1.000
2.960	0.000
3.000	1.000
3.040	0.000
3.080	0.000
3.120	0.000
3.160	0.000
3.200	0.000
3.240	0.000
3.280	0.000
3.320	0.000
3.360	0.000
3.400	0.000
3.440	3.000
3.480	0.000
3.520	0.000
3.560	0.000
3.600	0.000
3.640	0.000
3.680	0.000
3.720	0.000
3.760	0.000
3.800	0.000
3.840	0.000
3.880	1.000
3.920	0.000
3.960	0.000
4.000	1.000
4.040	0.000
4.080	0.000
4.120	0.000
4.160	1.000
4.200	0.000
4.240	2.000
4.280	0.000
4.320	0.000
4.360	0.000
4.400	0.000
4.440	0.000
4.480	0.000
4.520	0.000
4.560	0.000
4.600	0.000
4.640	0.000
4.680	0.000
4.720	0.000
4.760	0.000
4.800	0.000
4.840	0.000
4.880	0.000
4.920	1.000
4.960	0.000
5.000	0.000
5.040	0.000
5.080	0.000
5.120	0.000
5.160	0.000
5.200	0.000
5.240	0.000
5.280	0.000
5.320	0.000
5.360	0.000
5.400	0.000
5.440	0.000
5.480	1.000
5.520	0.000
5.560	0.000
5.600	1.000
5.640	0.000
5.680	0.000
5.720	0.000
5.760	0.000
5.800	0.000
5.840	0.000
5.880	2.000
5.920	0.000
5.960	0.000
6.000	0.000
6.040	0.000
6.080	2.000
6.120	1.000
6.160	1.000
6.200	0.000
6.240	0.000
6.280	0.000
6.320	0.000
6.360	0.000
6.400	0.000
6.440	0.000
6.480	0.000
6.520	0.000
6.560	0.000
6.600	0.000
6.640	0.000
6.680	1.000
6.720	0.000
6.760	1.000
6.800	0.000
6.840	0.000
6.880	0.000
6.920	0.000
6.960	0.000
7.000	1.000
7.040	0.000
7.080	1.000
7.120	1.000
7.160	0.000
7.200	0.000
7.240	1.000
7.280	0.000
7.320	0.000
7.360	0.000
7.400	0.000
7.440	0.000
7.480	0.000
7.520	0.000
7.560	0.000
7.600	0.000
7.640	0.000
7.680	0.000
7.720	0.000
7.760	0.000
7.800	1.000
7.840	0.000
7.880	0.000
7.920	0.000
7.960	0.000
8.000	0.000
8.040	0.000
8.080	0.000
8.120	0.000
8.160	0.000
8.200	0.000
8.240	0.000
8.280	0.000
8.320	0.000
8.360	0.000
8.400	0.000
8.440	1.000
8.480	0.000
8.520	0.000
8.560	0.000
8.600	0.000
8.640	0.000
8.680	0.000
8.720	0.000
8.760	0.000
8.800	1.000
8.840	0.000
8.880	0.000
8.920	1.000
8.960	1.000
9.000	0.000
9.040	0.000
9.080	0.000
9.120	0.000
9.160	0.000
9.200	0.000
9.240	0.000
9.280	1.000
9.320	0.000
9.360	0.000
9.400	0.000
9.440	0.000
9.480	0.000
9.520	0.000
9.560	1.000
9.600	0.000
9.640	0.000
9.680	0.000
9.720	0.000
9.760	0.000
9.800	0.000
9.840	0.000
9.880	0.000
9.920	0.000
9.960	0.000
10.000	1.000
10.040	0.000
10.080	0.000
10.120	1.000
10.160	0.000
10.200	0.000
10.240	0.000
10.280	0.000
10.320	0.000
10.360	1.000
10.400	0.000
10.440	0.000
10.480	0.000
10.520	1.000
10.560	2.000
10.600	0.000
10.640	0.000
10.680	0.000
10.720	1.000
10.760	0.000
10.800	1.000
10.840	0.000
10.880	0.000
10.920	0.000
10.960	0.000
11.000	0.000
11.040	0.000
11.080	0.000
11.120	0.000
11.160	0.000
11.200	2.000
11.240	0.000
11.280	0.000
11.320	0.000
11.360	0.000
11.400	0.000
11.440	0.000
11.480	0.000
11.520	0.000
11.560	1.000
11.600	1.000
11.640	0.000
11.680	0.000
11.720	0.000
11.760	0.000
11.800	0.000
11.840	0.000
11.880	0.000
11.920	1.000
11.960	0.000
12.000	0.000
12.040	0.000
12.080	1.000
12.120	0.000
12.160	0.000
12.200	1.000
12.240	0.000
12.280	0.000
12.320	0.000
12.360	1.000
12.400	0.000
12.440	1.000
12.480	0.000
12.520	1.000
12.560	0.000
12.600	0.000
12.640	0.000
12.680	0.000
12.720	0.000
12.760	1.000
12.800	1.000
12.840	0.000
12.880	1.000
12.920	0.000
12.960	0.000
13.000	0.000
13.040	0.000
13.080	0.000
13.120	0.000
13.160	0.000
13.200	0.000
13.240	1.000
13.280	0.000
13.320	0.000
13.360	0.000
13.400	0.000
13.440	0.000
13.480	0.000
13.520	1.000
13.560	0.000
13.600	0.000
13.640	0.000
13.680	0.000
13.720	0.000
13.760	0.000
13.800	0.000
13.840	0.000
13.880	0.000
13.920	0.000
13.960	0.000
14.000	0.000
14.040	0.000
14.080	0.000
14.120	0.000
14.160	0.000
14.200	1.000
14.240	0.000
14.280	0.000
14.320	0.000
14.360	0.000
14.400	0.000
14.440	0.000
14.480	1.000
14.520	2.000
14.560	0.000
14.600	0.000
14.640	0.000
14.680	0.000
14.720	0.000
14.760	0.000
14.800	0.000
14.840	0.000
14.880	0.000
14.920	0.000
14.960	0.000
15.000	0.000
15.040	0.000
15.080	0.000
15.120	0.000
15.160	0.000
15.200	2.000
15.240	0.000
15.280	0.000
15.320	0.000
15.360	0.000
15.400	0.000
15.440	0.000
15.480	0.000
15.520	0.000
15.560	0.000
15.600	0.000
15.640	0.000
15.680	0.000
15.720	0.000
15.760	0.000
15.800	0.000
15.840	0.000
15.880	0.000
15.920	0.000
15.960	0.000
16.000	2.000
16.040	0.000
16.080	0.000
16.120	0.000
16.160	0.000
16.200	0.000
16.240	0.000
16.280	0.000
16.320	0.000
16.360	1.000
16.400	0.000
16.440	1.000
16.480	0.000
16.520	0.000
16.560	1.000
16.600	0.000
16.640	0.000
16.680	0.000
16.720	0.000
16.760	0.000
16.800	0.000
16.840	0.000
16.880	0.000
16.920	0.000
16.960	1.000
17.000	1.000
17.040	0.000
17.080	0.000
17.120	0.000
17.160	0.000
17.200	0.000
17.240	0.000
17.280	0.000
17.320	0.000
17.360	0.000
17.400	0.000
17.440	0.000
17.480	1.000
17.520	0.000
17.560	0.000
17.600	0.000
17.640	0.000
17.680	0.000
17.720	0.000
17.760	0.000
17.800	0.000
17.840	0.000
17.880	0.000
17.920	1.000
17.960	0.000
18.000	0.000
18.040	0.000
18.080	0.000
18.120	0.000
18.160	0.000
18.200	0.000
18.240	0.000
18.280	0.000
18.320	0.000
18.360	0.000
18.400	1.000
18.440	0.000
18.480	0.000
18.520	0.000
18.560	0.000
18.600	0.000
18.640	0.000
18.680	1.000
18.720	0.000
18.760	0.000
18.800	1.000
18.840	0.000
18.880	0.000
18.920	0.000
18.960	1.000
19.000	0.000
19.040	0.000
19.080	0.000
19.120	0.000
19.160	0.000
19.200	0.000
19.240	1.000
19.280	1.000
19.320	1.000
19.360	1.000
19.400	2.000
19.440	5.000
19.480	2.000
19.520	13.000
19.560	18.000
19.600	19.000
19.640	12.000
19.680	29.000
19.720	37.000
19.760	46.000
19.800	53.000
19.840	53.000
19.880	59.000
19.920	93.000
19.960	68.000
20.000	88.000
20.040	103.000
20.080	118.000
20.120	145.000
20.160	143.000
20.200	145.000
20.240	136.000
20.280	144.000
20.320	165.000
20.360	169.000
20.400	187.000
20.440	193.000
20.480	225.000
20.520	201.000
20.560	164.000
20.600	174.000
20.640	171.000
20.680	188.000
20.720	215.000
20.760	168.000
20.800	156.000
20.840	175.000
20.880	157.000
20.920	180.000
20.960	170.000
21.000	158.000
21.040	196.000
21.080	159.000
21.120	178.000
21.160	164.000
21.200	146.000
21.240	153.000
21.280	139.000
21.320	165.000
21.360	165.000
21.400	167.000
21.440	155.000
21.480	143.000
21.520	152.000
21.560	151.000
21.600	148.000
21.640	131.000
21.680	131.000
21.720	120.000
21.760	130.000
21.800	146.000
21.840	121.000
21.880	129.000
21.920	131.000
21.960	135.000
22.000	119.000
22.040	118.000
22.080	125.000
22.120	121.000
22.160	109.000
22.200	121.000
22.240	99.000
22.280	106.000
22.320	119.000
22.360	123.000
22.400	94.000
22.440	111.000
22.480	91.000
22.520	125.000
22.560	123.000
22.600	98.000
22.640	108.000
22.680	115.000
22.720	97.000
22.760	99.000
22.800	98.000
22.840	105.000
22.880	83.000
22.920	85.000
22.960	87.000
23.000	88.000
23.040	74.000
23.080	93.000
23.120	88.000
23.160	82.000
23.200	91.000
23.240	77.000
23.280	63.000
23.320	65.000
23.360	78.000
23.400	79.000
23.440	77.000
23.480	68.000
23.520	60.000
23.560	74.000
23.600	71.000
23.640	70.000
23.680	71.000
23.720	81.000
23.760	75.000
23.800	65.000
23.840	70.000
23.880	66.000
23.920	53.000
23.960	58.000
24.000	45.000
24.040	59.000
24.080	65.000
24.120	69.000
24.160	52.000
24.200	58.000
24.240	55.000
24.280	71.000
24.320	64.000
24.360	48.000
24.400	45.000
24.440	50.000
24.480	42.000
24.520	48.000
24.560	52.000
24.600	47.000
24.640	48.000
24.680	45.000
24.720	49.000
24.760	36.000
24.800	34.000
24.840	39.000
24.880	52.000
24.920	36.000
24.960	39.000
25.000	32.000
25.040	39.000
25.080	56.000
25.120	32.000
25.160	30.000
25.200	37.000
25.240	32.000
25.280	34.000
25.320	39.000
25.360	45.000
25.400	31.000
25.440	29.000
25.480	44.000
25.520	31.000
25.560	32.000
25.600	24.000
25.640	28.000
25.680	34.000
25.720	33.000
25.760	30.000
25.800	16.000
25.840	19.000
25.880	23.000
25.920	24.000
25.960	12.000
26.000	23.000
26.040	27.000
26.080	26.000
26.120	26.000
26.160	27.000
26.200	16.000
26.240	20.000
26.280	20.000
26.320	17.000
26.360	24.000
26.400	18.000
26.440	22.000
26.480	19.000
26.520	15.000
26.560	22.000
26.600	24.000
26.640	10.000
26.680	11.000
26.720	20.000
26.760	19.000
26.800	15.000
26.840	19.000
26.880	20.000
26.920	12.000
26.960	16.000
27.000	17.000
27.040	13.000
27.080	18.000
27.120	13.000
27.160	15.000
27.200	12.000
27.240	13.000
27.280	16.000
27.320	14.000
27.360	6.000
27.400	12.000
27.440	10.000
27.480	9.000
27.520	10.000
27.560	12.000
27.600	10.000
27.640	11.000
27.680	8.000
27.720	9.000
27.760	7.000
27.800	16.000
27.840	5.000
27.880	8.000
27.920	9.000
27.960	10.000
28.000	10.000
28.040	7.000
28.080	7.000
28.120	7.000
28.160	8.000
28.200	11.000
28.240	6.000
28.280	10.000
28.320	3.000
28.360	6.000
28.400	7.000
28.440	6.000
28.480	6.000
28.520	5.000
28.560	7.000
28.600	8.000
28.640	11.000
28.680	8.000
28.720	8.000
28.760	9.000
28.800	8.000
28.840	6.000
28.880	6.000
28.920	4.000
28.960	8.000
29.000	6.000
29.040	3.000
29.080	3.000
29.120	7.000
29.160	9.000
29.200	7.000
29.240	4.000
29.280	5.000
29.320	6.000
29.360	4.000
29.400	4.000
29.440	3.000
29.480	6.000
29.520	5.000
29.560	3.000
29.600	4.000
29.640	4.000
29.680	5.000
29.720	3.000
29.760	4.000
29.800	2.000
29.840	2.000
29.880	0.000
29.920	2.000
29.960	2.000
30.000	3.000
30.040	5.000
30.080	5.000
30.120	5.000
30.160	4.000
30.200	4.000
30.240	2.000
30.280	0.000
30.320	6.000
30.360	6.000
30.400	9.000
30.440	3.000
30.480	3.000
30.520	4.000
30.560	4.000
30.600	2.000
30.640	3.000
30.680	6.000
30.720	2.000
30.760	3.000
30.800	6.000
30.840	0.000
30.880	4.000
30.920	2.000
30.960	1.000
31.000	1.000
31.040	1.000
31.080	1.000
31.120	2.000
31.160	1.000
31.200	6.000
31.240	3.000
31.280	2.000
31.320	4.000
31.360	0.000
31.400	0.000
31.440	8.000
31.480	3.000
31.520	1.000
31.560	2.000
31.600	3.000
31.640	3.000
31.680	6.000
31.720	2.000
31.760	3.000
31.800	5.000
31.840	3.000
31.880	3.000
31.920	1.000
31.960	1.000
32.000	0.000
32.040	5.000
32.080	6.000
32.120	0.000
32.160	2.000
32.200	3.000
32.240	1.000
32.280	1.000
32.320	3.000
32.360	3.000
32.400	4.000
32.440	1.000
32.480	0.000
32.520	3.000
32.560	2.000
32.600	0.000
32.640	1.000
32.680	0.000
32.720	2.000
32.760	0.000
32.800	1.000
32.840	2.000
32.880	1.000
32.920	0.000
32.960	2.000
33.000	2.000
33.040	1.000
33.080	2.000
33.120	1.000
33.160	2.000
33.200	2.000
33.240	0.000
33.280	1.000
33.320	0.000
33.360	0.000
33.400	0.000
33.440	1.000
33.480	1.000
33.520	3.000
33.560	0.000
33.600	2.000
33.640	2.000
33.680	2.000
33.720	1.000
33.760	0.000
33.800	1.000
33.840	2.000
33.880	1.000
33.920	0.000
33.960	0.000
34.000	1.000
34.040	0.000
34.080	0.000
34.120	0.000
34.160	2.000
34.200	0.000
34.240	1.000
34.280	1.000
34.320	1.000
34.360	0.000
34.400	1.000
34.440	3.000
34.480	0.000
34.520	0.000
34.560	0.000
34.600	1.000
34.640	0.000
34.680	2.000
34.720	2.000
34.760	0.000
34.800	1.000
34.840	0.000
34.880	0.000
34.920	0.000
34.960	2.000
35.000	1.000
35.040	0.000
35.080	0.000
35.120	3.000
35.160	1.000
35.200	0.000
35.240	0.000
35.280	0.000
35.320	1.000
35.360	0.000
35.400	0.000
35.440	0.000
35.480	1.000
35.520	0.000
35.560	1.000
35.600	0.000
35.640	2.000
35.680	1.000
35.720	0.000
35.760	0.000
35.800	1.000
35.840	0.000
35.880	0.000
35.920	1.000
35.960	0.000
36.000	1.000
36.040	1.000
36.080	1.000
36.120	2.000
36.160	2.000
36.200	0.000
36.240	2.000
36.280	0.000
36.320	0.000
36.360	3.000
36.400	0.000
36.440	1.000
36.480	0.000
36.520	0.000
36.560	0.000
36.600	1.000
36.640	0.000
36.680	0.000
36.720	0.000
36.760	0.000
36.800	2.000
36.840	1.000
36.880	0.000
36.920	0.000
36.960	0.000
37.000	0.000
37.040	0.000
37.080	0.000
37.120	0.000
37.160	0.000
37.200	0.000
37.240	3.000
37.280	0.000
37.320	0.000
37.360	1.000
37.400	0.000
37.440	0.000
37.480	0.000
37.520	0.000
37.560	1.000
37.600	2.000
37.640	0.000
37.680	1.000
37.720	0.000
37.760	1.000
37.800	0.000
37.840	0.000
37.880	2.000
37.920	0.000
37.960	1.000
38.000	0.000
38.040	0.000
38.080	0.000
38.120	1.000
38.160	0.000
38.200	0.000
38.240	0.000
38.280	1.000
38.320	1.000
38.360	2.000
38.400	0.000
38.440	0.000
38.480	0.000
38.520	0.000
38.560	0.000
38.600	0.000
38.640	1.000
38.680	0.000
38.720	0.000
38.760	0.000
38.800	0.000
38.840	1.000
38.880	0.000
38.920	1.000
38.960	0.000
39.000	0.000
39.040	0.000
39.080	0.000
39.120	1.000
39.160	0.000
39.200	0.000
39.240	0.000
39.280	0.000
39.320	0.000
39.360	1.000
39.400	1.000
39.440	0.000
39.480	1.000
39.520	0.000
39.560	1.000
39.600	0.000
39.640	1.000
39.680	1.000
39.720	1.000
39.760	1.000
39.800	0.000
39.840	2.000
39.880	1.000
39.920	0.000
39.960	0.000
40.000	0.000
40.040	1.000
40.080	0.000
40.120	1.000
40.160	1.000
40.200	1.000
40.240	0.000
40.280	0.000
40.320	0.000
40.360	0.000
40.400	0.000
40.440	0.000
40.480	0.000
40.520	1.000
40.560	0.000
40.600	1.000
40.640	0.000
40.680	0.000
40.720	0.000
40.760	1.000
40.800	2.000
40.840	0.000
40.880	0.000
40.920	0.000
40.960	0.000